Pronađeno: 1-1 / 1 radova

Autori: Hirata H

>> Prikaži sve rezultate

Naslov Diagnostics of an inductively coupled CF4/Ar plasma (Article)
Autori Hioki K  Hirata H  Matsumura S  Petrovic Zoran Lj  Makabe Toshiaki 
Info JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, (2000), vol. 18 br. 3, str. 864-872
Ispravka ISI/Web of Science   Članak   Elečas   Rang časopisa   Citati: ISI/Web of Science   Scopus  
Ispis zapisa u formatu:TXT | BibTeX